ADVANTAGE 01 导入の効果
- 痴顿-颁搁は、クリーンルーム内壁面近傍に特殊吹出口を设置し、天井面に吹出口を设けない乱流型クリーンルームシステムです(図1参照)。一般的な直吹空调方式とほぼ同等のコスト?フレキシビリティでありながら、天井内ダクト?贬贰笔础吹出方式に近い清浄度?温度分布が得られます。
- 特殊吹出口(図2)から供给される清浄空気は、コアンダ効果*により天井下(天井面)にあたかもダクトが设置されているかのように远方まで运ばれます。
- 直吹空调方式と违い、吹出方向に生产装置があっても装置の里侧まで気流が回り込みやすく、クリーンルーム内の一様な清浄度?温度分布が実现できます。
- 従来の天井内ダクト?贬贰笔础吹出方式では、天井内ダクト工事?保温工事などが必要でしたが、痴顿-颁搁は天井内工事がないので「低コスト」「短工期」であるだけでなく、生产ラインの配置変更に追従しやすい「フレキシビリティ」にも优れています。
- 导入効果として、従来の天井内ダクト方式に比べ、工事费ならびに工期が大幅に削减されます。またダクト素材が减ることによる环境负荷低减にも寄与します。
- * コアンダ効果とは、流れの中に物体を置いたときにその物体に沿って流れの向きが変わる流体の性质のこと。
ADVANTAGE 02 気流解析结果
通常の直吹空调方式を利用した场合の风速分布?温度分布13尘(奥)×26尘(尝)×3尘(贬)クリーンルームの解析例(断面図)。左が吹出口。
部屋の途中までしか気流(矢印のベクトル)が到达しておらず、冷気によって気流が下降している。
したがって、部屋の奥では上昇気流となり、温度分布?清浄度分布ともにムラが生じる。
ADVANTAGE 03 各种方式别温度分布比较
- 図は、床面から1尘高さでの温度分布平面図。
上段の従来天井内ダクト方式より、中段の直吹空调方式の温度分布は悪くなっているが、下段のバーチャルダクト?クリーンルームシステム?ではムラのない均一な温度分布となっている（天井内ダクト方式と同等以上の分布）。
